聽·見中國(guó)式現(xiàn)代化③ ｜“面對(duì)‘卡脖子’，一定要國(guó)產(chǎn)化！”

【▲聽習(xí)近平總書記原聲】

編者按

黨的二十大擘畫了以中國(guó)式現(xiàn)代化推進(jìn)中華民族偉大復(fù)興的宏偉藍(lán)圖。聽，聲音鏗鏘；見，畫卷舒展。泰州廣播電視臺(tái)推出大型融媒體集成報(bào)道“聽·見中國(guó)式現(xiàn)代化” ，記錄凝心聚力、同心筑夢(mèng)，奔赴中國(guó)式現(xiàn)代化的生動(dòng)實(shí)踐和美麗圖景。今天一起走近江蘇先鋒精密科技股份有限公司的研發(fā)部經(jīng)理賈坤良。

半導(dǎo)體芯片是信息化時(shí)代的基石，也是當(dāng)今尖端制造的制高點(diǎn)。半導(dǎo)體精密零部件研發(fā)制造不僅是半導(dǎo)體芯片制造設(shè)備中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一，也是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)被“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。作為江蘇先鋒精密科技股份有限公司研發(fā)部經(jīng)理的賈坤良，多年來(lái)秉承工匠精神，深耕專業(yè)領(lǐng)域，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化貢獻(xiàn)了自己的力量。

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日行千里

為客戶的國(guó)產(chǎn)化需求竭盡全力

一上班，賈坤良就來(lái)到生產(chǎn)車間查看為客戶定制的高溫晶圓加熱器生產(chǎn)情況，這款加熱器是先鋒精密自主研發(fā)的新品，賈坤良非常關(guān)心產(chǎn)品的參數(shù)、質(zhì)量情況。正是因?yàn)檫@種認(rèn)真勁，他在任職期間參與公司產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)并獲得授權(quán)專利 14 項(xiàng)，有力推動(dòng)了知識(shí)和科技成果轉(zhuǎn)化為實(shí)際生產(chǎn)力。

2011年左右，國(guó)內(nèi)某半導(dǎo)體企業(yè)尋求合作開發(fā)廠家。但因?yàn)閲?guó)產(chǎn)化這個(gè)零部件投入巨大，難度也很高，國(guó)內(nèi)很多企業(yè)都拒絕了。

當(dāng)時(shí)的先鋒雖然也缺乏相關(guān)的先進(jìn)設(shè)備和焊接技術(shù)，但為了助力半導(dǎo)體行業(yè)的國(guó)產(chǎn)化，也為了先鋒日后的發(fā)展，公司負(fù)責(zé)人還是接下了這份訂單，并安排賈坤良來(lái)負(fù)責(zé)完成合作。

【賈坤良：這些產(chǎn)品一定要實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化】

因?yàn)榭蛻粜枰牧悴考遣怀Ｓ玫奶沾刹馁|(zhì)，而陶瓷焊接設(shè)備短時(shí)間內(nèi)無(wú)法購(gòu)買，賈坤良便只能帶著生產(chǎn)出的零部件多次自駕去蘇州、上海的外協(xié)廠商進(jìn)行焊接。

為了加快交付進(jìn)度，確保項(xiàng)目節(jié)點(diǎn)，有一個(gè)多月的時(shí)間，賈坤良幾乎每天都在靖江和蘇州、上海的外協(xié)廠商之間來(lái)回穿梭，凌晨四五點(diǎn)出發(fā)，深夜十一二點(diǎn)才能回來(lái)，而回來(lái)之后也不能休息，必須立刻對(duì)焊接好的零部件進(jìn)行檢測(cè)。

就這樣，不到一年時(shí)間，客戶要求的首批產(chǎn)品就試制成功，經(jīng)過對(duì)比測(cè)試，性能與國(guó)外產(chǎn)品相當(dāng)，達(dá)到使用要求，如今早已實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。

從“中國(guó)制造”到“中國(guó)智造”

雖然仿制成功，但賈坤良并不滿足。因?yàn)樗J(rèn)為，面對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備零部件被國(guó)外企業(yè)“卡脖子”，唯有不斷研發(fā)創(chuàng)新才能實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件的國(guó)產(chǎn)化替代，才能提升半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈韌性和安全水平。

因?yàn)橹跋蠕h的半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件大部分依賴進(jìn)口，2015年，賈坤良就遇到過被外國(guó)企業(yè)以小制大“卡脖子”的事情。

【賈坤良：忍痛購(gòu)買外國(guó)產(chǎn)品，價(jià)格翻番】

面對(duì)這樣的情況，不服輸?shù)馁Z坤良潛心研究，以全新視角系統(tǒng)、全面剖析問題，找到直接原因，更低成本、高效益地解決問題。2016年末，這個(gè)曾經(jīng)不得不高價(jià)進(jìn)口的核心部件就實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)，產(chǎn)品價(jià)格也從原先進(jìn)口的4萬(wàn)美元/臺(tái)（套）降至1.5萬(wàn)美元/臺(tái)（套）。

在攻克高均勻性晶圓加熱器難題時(shí)，賈坤良更是靈活運(yùn)用 TRIZ 創(chuàng)新理論，解決了晶圓加熱器高溫時(shí)的熱平衡和均勻性問題，該項(xiàng)目獲得了2021年中國(guó)創(chuàng)新方法大賽江蘇賽區(qū)決賽二等獎(jiǎng)。

匠心淬煉

成品率70%→99%

噴淋盤是芯片制造設(shè)備刻蝕機(jī)的主要部件。在央視2018年推出的大型紀(jì)錄片《大國(guó)重器》中，有這樣一組鏡頭，一個(gè)直徑近半米的噴淋盤上，均勻地分布著超1000個(gè)細(xì)小的圓孔，反應(yīng)氣體正是通過這些小孔進(jìn)入反應(yīng)腔體，在射頻作用下形成均勻分布的等離子體。這塊噴淋盤就是由先鋒研發(fā)生產(chǎn)，成為首批國(guó)產(chǎn)7納米等離子刻蝕機(jī)的核心部件。

為了保證化學(xué)氣體均勻地進(jìn)入反應(yīng)腔體，噴淋盤表面每一個(gè)圓孔的直徑、內(nèi)壁都要經(jīng)得起檢驗(yàn)。賈坤良花一兩年時(shí)間，參與研發(fā)了精密鉆孔、精密定位工裝等工藝，如今，噴淋盤的成品率從之前的70%已經(jīng)達(dá)到了99%，成功補(bǔ)上了“中國(guó)芯”產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，加速了刻蝕設(shè)備率先實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代的進(jìn)程。

【賈坤良：四五千個(gè)孔要一根針一根針保護(hù)起來(lái)】

賈坤良精益求精的態(tài)度也感染了他身邊的每一個(gè)人，研發(fā)工程師張超進(jìn)入賈坤良的團(tuán)隊(duì)僅有兩年，已經(jīng)深受他的影響。

張超介紹，賈坤良正在帶領(lǐng)他們研發(fā)新的國(guó)產(chǎn)化加熱器項(xiàng)目，這個(gè)項(xiàng)目從2015年開始，中間經(jīng)歷了很多困難和曲折，每次在他們快要放棄的時(shí)候，都是賈坤良堅(jiān)持了下來(lái)。如今，這個(gè)項(xiàng)目已經(jīng)有50多款研發(fā)成功，一年的產(chǎn)值有近4000萬(wàn)。